| |
| |
 |
半導体産業新聞・主催セミナー 大見忠弘教授が提唱する「生き残り，発展する，半導体工場のあるべき姿」（7月24日） 多数のご参加ありがとうございました。 −21世紀に向けた半導体生産システムとは 7月24日、大河内記念技術賞など数々の賞を受賞している東北大学大学院工学研究科電子工学専攻教授 大見忠弘氏をはじめとする第一線で活躍する講師を招き、大きな転換期を迎えている半導体生産システムの生き残り、発展するための具体策提唱セミナーを開催した。 今回のセミナーは、まず大見教授の「今、半導体工場に求められる技術はこれだ！」−高速・低温・高品質プロセスの実現−から始まり、昼食を挟んで同氏の「低価格・高効率生産性の半導体生産システム」−300mmウエハー時代が求める有効手法−、続いて東北大学大学院工学研究科､白井泰雪氏の「ゼロエミッション半導体生産」その１、プロセスガス、コーヒーブレイクの後UCT開発研究所顧問､三木正博氏の「ゼロエミッション半導体生産」その２、薬品、最後は三菱電機ULSI研究所技師長、出水清史氏の「300mmウエハー時代のクリーンルーム」で締めくくられた。セミナー終了後は「大見教授を囲む懇親会パーティー」も開催され、大変好評を博した。 以下、セミナーおよび懇親会の様子をお届けします。 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
© Copyright 1998 Sangyo Times, Inc. All Rights Reserved |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
