10：00〜11：00 （60分）
基礎講座 I
（静電気についての基礎知識と本質に迫る）
なぜそうなるのかを考察する
エレクトロニクス業界全体で、急遽、クローズアップされてきたのがこの静電気対策。特に、ナノ領域に突入した半導体製造においては、デバイス信頼性の観点からも、早急に対策を講じなければならない懸案事項です。
誰もが体感したことのある静電気ですが、では、なぜ、いかなる理由で発生するのか。その具体的なメカニズムを問われると、知識は曖昧なままです。
講演は静電気の基礎知識とメカニズムからスタートを切ります。
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11：00〜12：00 （60分）
基礎講座 II
（静電気対策の基本と常識、役立つデータと考え方）
対策の急所を正しく理解する。ここがポイント！
静電気対策というと、すぐさまイオナイザーの設置を想定しますが、闇雲に設置しても効果はほとんど上がりません。何でもかんでもイオナイザーに頼ることは正しいのでしょうか？ オープニングでの基礎知識とメカニズムをベースに、対策を講じなければならない、押さえるべき急所について、データを提示しながら解説いたします。
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12：00〜13：00 ランチ＋名刺交換会
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13：00〜14：30 （90分）
基礎講座 III
（静電気対策の実際、データをもとに解説する）
基礎講座の最後は、実践を前提とした対策です。
静電気のメカニズムと押さえるべき急所は解説を施しましたが、それを実際の半導体工場で運用するとなると、どのように対処していけばよいのか。ここでは現場でのデータを基に、半導体製造ラインにおける静電気対策の実際を解説いたします。
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14：30〜14：50 コーヒーブレイク
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14：50〜16：20 （90分）
静電気問題と対策方法を考える。こんな場合あなたならどうする？
ケーススタディとテキスト問題。解説
第一回目と同様、ここでもご聴講の皆様に、選択形式のペーパーテストにチャレンジしていただきます。静電気対策に関する、ケース・バイ・ケースでの対応を想定した問題集です。
もちろん、今回も正解率を問うものではありません。正解以外の選択肢にも、わざと誤解しやすいものを列記いたします。その上で、正解の理由も含め、それ以外の選択肢に対しても、なぜ、誤解しやすいのか。その理由とともに、解説を施していきます。
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16：20〜17：00 （40分）
ESA問題を解説する。先端クリーン化のパーティクル管理はESA？
半導体メーカーからの要求事項と狙い目
ESAとはElectrostatic (Particle) Attractionのこと。超微粒のパーティクルは落下せずに浮遊していますが、静電気が走ると一気に吸い寄せられる形でウェハ表面に付着してしまいます。また、トランジスタ破壊を起こすESD（Electrostatic Discharge）も無視できません。
最先端ラインにおける静電気対策とは、ESAのみを示唆するのか、それともESDも懸案材料に入れておく必要があるのかどうか。半導体メーカーが本当に必要としている静電気対策を報告します。
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