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業界初の試み！ ご聴講者様参加型セミナー 『半導体クリーン化技術』その基礎と実践 あなたならどうする？ シリーズ2回 何が重要でどう展開するのか？ 作業者への管理・運用ノウハウも解きほぐす 第1回 パーティクルとケミカル汚染の対策 2007年10月11日(木) 10：00〜17：00 第2回 役に立つ静電気対策 2007年11月5日(月) 10：00〜17：00 2回連続受講コース 2007年10月11日(木) 10：00〜17：00 2007年11月5日(月) 10：00〜17：00 多数のご参加、ありがとうございました 於 明神会館（東京・御茶ノ水） 半導体製造における生産技術の開発は、各プロセス担当の開発部隊（ユニット）がそれぞれ目的の微細ノードに向かって作業を進める、いわゆる集束性のある作業です。これに対し、『半導体クリーン化技術』は守備範囲が広く、やればやるほど仕事量が増える、拡散性を持った作業です。このため、半導体メーカー各社ともクリーン化専門の特別部隊を持たず、各ユニットが開発技術の一環として取り込んでいるのが実情です。 このような状況下、ファブ運営を担う責任者の方をはじめ、製造装置・材料・部材メーカーの方々は、各ユニットからの多種多様な要求に戸惑い、クリーン化技術の正確な方向性を見出しにくくなっているのが実情ではないでしょうか。 そこで、半導体産業新聞では、「『半導体クリーン化技術』その基礎と実践」セミナーを企画。講師には、新ゴミ博士の異名を取りつつある三菱電機(株)／パワーデバイス製作所の園田信夫氏を招聘しました。 今回のセミナーでは園田氏からの提案により、より理解度を深めるために、講演のみでなく、技術を可視化してご提示することに重きを置きました。ご聴講者様にも実際に参加していただく形で、パーティクル・カウンタを会場に持ち込んでの実習・実演、ケース・スタディとテキスト問題・その解説、特別編集したビデオ放映など、従来のセミナーとは違ったアプローチで『半導体クリーン化技術』の基礎と実践を学び、今後の方向性をご示唆させていただきます。
○ 産業タイムズ社 事業部 FAX: 03-3834-5170 TEL: 03-3834-2581 E-mail: scnw@sangyo-times.co.jp | |||||||||||