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半導体産業新聞 ウインタースクール 2007 Part. III

ビギナーのための半導体/冬講座


これだけは知っておきたい半導体プロセス&装置・クリーン化

基礎コース

2007年12月19日(水) 09:30〜18:00
  於 明神会館(東京・御茶ノ水)


多数のご参加、ありがとうございました。

 シリコン・ウェハおよび半導体製造において必須の各要素プロセス技術、さらにはトランジスタの動作原理に至るまで、半導体関連のメイン・テクノロジーを分かりやすい言葉で解説いたします。また、特別講座として、文系出身者のための「紙芝居で見る半導体製造プロセス・フロー」を用意。半導体ができるまでのプロセスの流れを、前工程(トランジスタ形成とAl/Cu配線形成)から後工程(パッケージング工程)まで、より噛み砕いた表現で解説します。
 特典:ご参加者全員の方に、(社)日本半導体製造装置協会発行の「半導体ができるまで」前工程と後工程の工程図を進呈いたします。


■ 講演内容

第1部 主要プロセス・装置の基礎講座
09:30〜10:30

半導体を作り込むためのベースとなる「シリコン・ウェハ基板」とは
シリコン・ウェハの役割りと作り方&さらなる大口径化のなぜ

元スーパーシリコン研究所 所長

高田 清司 (たかだ きよし) (09:30〜10:30担当)

10:30〜12:00

回路図を焼き付ける『リソグラフィ工程』の仕組みと様々な手法
マスク・レジスト・現像・アッシングも踏まえて

熱によって薄膜を形成する『熱処理プロセス』
大量に処理するバッチ方式とウェハ一枚づつ処理する枚葉方式

リンやボロンといった不純物を注入する
『イオン注入・アニール工程』

電気を通さないシリコン・ウェハに特定の電気特性を持たせる

平坦面にも凹凸部にも膜を埋め込んでいく『成膜プロセス』
雪が降るように堆積するCVD(Chemical Vapor Deposition)方式と
無数の粒子があられのように降り積もるスパッタリング方式

12:00〜12:50  ランチ+名刺交換会
12:50〜14:00

半導体製造プロセスの有能な細工師『エッチング工程』
微細な形状も自在に加工する

雑巾で床を拭くように『平坦化工程』でウェハ表面を研磨
リソグラフィのためにウェハ表面は常に凹凸なし

敏感で繊細なお肌のために
『洗浄プロセス』でウェハは繰り返し入浴

半導体製造の大敵:ゴミ/超微細なゴミも徹底的に排除する

ナノフロント研究所(元ソニー(株) 半導体プロセス・エンジニア)

佐藤 淳一 (さとう じゅんいち) (10:30〜14:00担当)

第2部 半導体デバイスが動作する基本原理
14:00〜14:40

『トランジスタ』が動く仕組みについて学ぶ
p型トランジスタとn型トランジスタ、そしてCMOSについて

ナノフロント研究所(元ソニー(株) 半導体プロセス・エンジニア)

佐藤 淳一 (さとう じゅんいち) (14:00〜14:40担当)

第3部 特別講座
(文系出身者のための)紙芝居で見る半導体製造プロセス・フロー

14:40〜18:00

トランジスタ形成プロセス『フロントエンド・プロセス』
主要6ブロックを紙芝居で見る/素子分離、ウェル形成、ゲート形成、
サイドウォールとソース/ドレイン形成、シリサイド化、Wプラグ形成

コーヒーブレイク 15分ないし20分間

多層配線形成プロセス『バックエンド・プロセス』
加工してから埋め込むAl配線と埋め込んでから加工するCu/low-k配線

後工程プロセス『パッケージング・プロセス』
パッケージングの役割りと組立工程

半導体産業新聞

松下 晋司 (まつした しんじ) (14:40〜18:00担当)


*講演タイトル、講演者は都合により変更する事がありますので、ご了承ください。
・本講座は07年4月23日/24日および8月29日/30日開催の「ビギナーのための半導体講座」再開催のご要望にお応えして開催しました。
・半導体産業新聞ウインタースクール2007 Part. I 「『太陽電池』の特性と製造プロセス/基礎講座」は、2007年12月13日(木)に開催します。
・半導体産業新聞ウインタースクール2007 Part. II 「ビギナーのためのFPD/冬講座」は、2007年12月17日(月)/18日(火)に開催します。

■ イベント概要

主催:
半導体産業新聞
コード:
G95
日時:
2007年12月19日(水) 09:30〜18:00
会場:
東京・御茶ノ水 明神会館(神田明神境内)
参加費:
3万1,500円/1名(テキスト、食事・飲み物、消費税込)

■ お問い合わせ先

○ 産業タイムズ社 事業部
   FAX: 03-3834-5170  TEL: 03-3834-2581
   E-mail: scnw@sangyo-times.co.jp





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