ビギナーのための半導体／冬講座総合基本コース

半導体産業新聞　ウインタースクール 2007 Part. III

ビギナーのための半導体／冬講座

これだけは知っておきたい半導体プロセス＆装置・クリーン化

総合基本コース

2007年12月20日(木) 09：30～17：30
於明神会館（東京・御茶ノ水）

多数のご参加、ありがとうございました。

　半導体が動作する基本原理から、半導体工場（ファブ）におけるクリーンルームの仕組みまで、分かりやすい言葉で解説いたします。とりわけ、メインとなる半導体製造プロセスでは、前工程および後工程とも、プロセスの流れとともに使用する装置技術にも言及。難解な言葉を使用することなく、半導体テクノロジーの基本から最先端までが無理なくご理解いただけるよう構成しました。
　特典：ご参加者全員の方に、弊紙・編集記者陣営が総力を挙げて執筆に取り組んだ、かんき出版発行『これが半導体の全貌だ！』を進呈致します。

■ 講演内容

09：30～10：30

『半導体とは？』どんな電子デバイス
半導体が動作する基本原理／記憶すること＆演算すること

NECエレクトロニクス(株)　先端デバイス開発事業部先端CMOS開発グループ
グループマネージャー

今井清隆　（いまいきよたか）

10：30～11：30

パターン（回路）原画を描いた『マスク製造プロセス』
すべての微細加工は原画「マスク」とリソグラフィを駆使しウェハに転写

大日本印刷(株)　電子デバイス事業部電子デバイス研究所主席研究員

法元盛久　（ほうがもりひさ）

11：30～12：40

半導体『トランジスタ』はどのようにして作る
（前工程：フロントエンド・プロセス）
90nmノード対応のトランジスタ形成、そのプロセス技術と必要な装置・材料

NECエレクトロニクス(株)　先端デバイス開発事業部先端CMOS開発グループ
グループマネージャー

今井清隆　（いまいきよたか）

12：40～13：30　　ランチ＋名刺交換会

13：30～14：30

半導体『多層配線』はどのようにして作る
（前工程：バックエンド・プロセス）
Al多層配線とCu／low-k多層配線　そのプロセス技術と必要な装置・材料

(株)ルネサステクノロジ　生産本部ウエハプロセス技術統括部プロセス開発部
配線モジュール開発グループ主任技師

藤澤雅彦　（ふじさわまさひこ）

14：30～15：20

半導体『パッケージ』はどのようにして作る
（後工程：パッケージング・プロセス）
パッケージング・プロセスと必要な装置・材料

沖電気工業(株)　半導体ビジネスグループ新規事業推進
シニアプロフェッショナル

小林治文　（こばやしはるふみ）

15：20～15：40　　コーヒーブレイク

15：40～16：30

半導体デバイスの進化を担う最新パッケージング技術
さらなる高集積化・高機能化・高性能化を確保するためにパッケージ形態が変貌する

沖電気工業(株)　半導体ビジネスグループ新規事業推進
シニアプロフェッショナル

小林治文　（こばやしはるふみ）

16：30～17：30

これが半導体工場のクリーンルームだ
半導体製造における最大の大敵／異物・汚染からウェハを守る

三菱電機(株)　パワーデバイス製作所品質保証部

園田信夫　（そのだのぶお）

＊講演タイトル、講演者は都合により変更する事がありますので、ご了承ください。
・本講座は07年4月23日/24日および8月29日/30日開催の「ビギナーのための半導体講座」再開催のご要望にお応えして開催しました。
・半導体産業新聞ウインタースクール2007 Part. I 「『太陽電池』の特性と製造プロセス／基礎講座」は、2007年12月13日（木）に開催します。
・半導体産業新聞ウインタースクール2007 Part. II 「ビギナーのためのFPD／冬講座」は、2007年12月17日（月）/18日（火）に開催します。

■ イベント概要

主催：	半導体産業新聞
コード：	G96
日時：	2007年12月20日（木） 09：30～17：30
会場：	東京・御茶ノ水　明神会館（神田明神境内）
参加費：	4万2,000円／1名（テキスト、食事・飲み物、消費税込）

■ お問い合わせ先

○ 産業タイムズ社　事業部
　　　FAX: 03-3834-5170　　TEL: 03-3834-2581
　　　E-mail: scnw@sangyo-times.co.jp

トップページへ戻る