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 半導体用トランジスタとフラットパネル用TFT その構造・特性とプロセスの違いを解きほぐす 2008年4月24日(木) 13：00〜17：40 於 明神会館（東京・御茶ノ水） 多数のご参加、ありがとうございました。 半導体用トランジスタ（Tr.）とディスプレイ用トランジスタ（TFT：Thin Film Transistor）は、その構造や特性、さらに製造プロセスはどう違うのでしょうか？ TFT誕生の原点は半導体用途で、三次元LSIの発想から生まれてきたという説があります。光リソグラフィの限界が1μmと予測されていた70年代後半から80年代初め頃、TFTを使ってTr. on Tr.の積層構造で集積度を上げようとする動きがあったそうです。実際には光リソの進化で、半導体は別のスケーリング則を選択することになるのですが、このTFTに目をつけたのがLCD（液晶）の開発エンジニアです。当時、液晶はパッシブ全盛で、アプリも電卓の域を超えられず、進化は足踏み状態。これがLCDの限界かとの雰囲気が漂い始めた頃、転機が訪れました。TFTをスイッチング機能として取り込み、進化の舵を動画、つまりフラットパネルTVに向けたことです。さらにもう一つ付け加えるならば、TFTをSi基板上にではなく、ガラス基板上に作り込んだことも大きなポイントといえます。 諸説は様々あると思われますが、この説はいかがでしょうか？ 弊紙では昨年度より各主要プロセスを2軸構成（横軸：技術単体での検証、縦軸：製造プロセス・フローからの検証）で追求する「テクニカル倶楽部」をスタートさせました。多数のご参加とともに高い評価をいただきましたが、その一方で、特定デバイスの全体像をじっくり学びたいとのご要望も数多く寄せられました。そこで08年度より、デバイス構造からプロセスを解きほぐす『デバイス解体新書』を立ち上げました。 その第一弾が、今回の「半導体用トランジスタとフラットパネル用TFT」です。半導体／パネルメーカーのみならず、製造装置・材料・部材業界においても両分野に携われている方々も多いかと思われます。専門用語が飛び交う顧客様との打ち合わせなど、ビジネスを円滑に進めるための知識バックボーン取得の手段として、ぜひこの解体新書シリーズもご活用ください。
＊講演タイトルは都合により変更することがあります。ご了承下さい。
○ 産業タイムズ社 事業部 FAX: 03-3834-5170 TEL: 03-3834-2581 E-mail: scnw@sangyo-times.co.jp |
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