なぜなぜ『真空』教室

ちょっとした「実験」も交えて…
なぜなぜ『真空』教室

真空のイロハから各種部材・装置機器・検査装置まで、
真空に関わるビジネス・トークをまるごと学びましょう

2011年5月17日(火)　13：00～17：30
会場：東京・総評会館

多数のご参加、ありがとうございました。

　半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）をはじめとする基幹デバイス、さらには話題の太陽電池や白色LEDの製造など、様々な電子デバイスの製造に、その基盤技術として深い関わりを持っているのが「真空技術」です。真空技術なしには電子デバイスの製造は有り得ないと表現しても過言ではありません。この真空を作り出すために、真空ポンプ、バルブ、ゲージ、マスフロー、Oリング、回転導入軸など様々な部材が必要になってきますが、デバイス製造あるいは装置全体から見た場合、これら各種部材の役割りはなかなか理解しがたい部分があるのではないでしょうか。
　そこで、半導体産業新聞では、真空関連装置・部材の新入社員の方々、新しく同分野に配属された方々を対象に「なぜなぜ『真空』教室」を企画しました。講師には元日本真空工業会専務理事などを歴任されてきた木ノ切恭治氏を招聘。実際に真空を作ってみる実験なども盛り込みながら、「真空」の世界を分かりやすく解説いたします。顧客とのビジネス・トークをスムーズに進めるための基礎知識として、ぜひ、同セミナーをご活用ください。

木ノ切講師から参加者の皆様方へ
今回のセミナーの講演内容を要約したサマリーを、参加者の皆様方に、電子データ（CD-R）にて謹呈させていただきます。セミナーを受講された皆様方が、今度は講師になられ、貴社内での新人教育などにご活用ください。

■ 講演内容

13：00～14：00 （60分）
第1部　ようこそ『真空』の世界へ

1. 「真空」が重視される前の時代における電子デバイス製造とは
2. 「真空」登場で、「真空」を利用した電子デバイス製造とは
半導体、LCD（液晶）、太陽電池など、主要デバイスに見る「真空」利用の実際
3. 電子デバイス製造に「真空」は必須？
私たちの生活空間「常圧」では、電子デバイス製造は不可能なのでしょうか
いえいえ、めっき法、印刷法、ゾルゲル法などは常圧で成膜します。
「真空」を利用するのは高純度・低抵抗・高絶縁・薄化等を狙うから
4. では、その「真空」とは何？
それは「空気の重さがない」ということ。「真空」の世界を分かりやすく解説します

14：00～15：30 （90分）
第2部　実践 I
真空を作る「真空部品」と「真空成膜装置」の世界へ

1.「真空」を実際に作ってみましょう　（※実験します）
50ccの注射器を使って、実際に「真空」を作ってみます
2.「真空成膜装置」を構成する「真空部品類」とその役割り
真空ポンプ、バルブ、ゲージ、マスフローコントローラ、Oリング、回転導入軸など、「真空部品類」の種類と役割を解説
3.それでは、上記「真空部品類」を使って「真空成膜装置（スパッタ）」を作ってみましょう
パワーポイント画面上で、「真空部品類」の役割りを確認しながら組み立て、スパッタリング装置を完成させます

15：30～16：00　　コーヒーブレイク　（体験コーナー）
第2部で実際に真空を作る実験をしました。コーヒーブレイクの時間を利用して、参加者の皆様方も「真空」を作ってみてください。時間に限りがありますが、木ノ切講師が実験の指導と解説を行います。

16：00～17：30 （90分）
第3部　実践 II
真空を利用した各種「真空成膜装置」と「検査装置」の世界へ

1. 真空を利用した各種「成膜装置」の紹介
スパッタリング装置以外にも、「真空」を利用した成膜装置（含・膜加工装置）があります。
真空蒸着装置、減圧CVD装置、プラズマCVD装置、イオン注入装置、エッチング装置などの紹介
2. 真空を利用して、「真空の質」を観る検査装置
リークディテクタ、ガス分析装置、SEM（Scanning Electron Microscope）などの紹介
3. 真空装置・コンポーネント類のマーケット動向

講師：木ノ切恭治　（きのきりきょうじ）
真空テクノサポート　代表

1965年東京理科大学理学部応用物理学科卒業。同年 (株)徳田製作所（現・芝浦メカトロニクス(株)）に入社、スパッタリング装置などの開発に従事。2001年～2007年日本真空工業会専務理事。同年真空テクノサポートを創設、現在に至る。産業技術総合研究所客員研究員、神奈川県立産業技術短期大学校講師、神奈川県工業技術研修センター講師などを歴任。「ものづくりと真空」を工業調査会より2010年7月に上梓。

＊講演タイトルは都合により変更する事がありますので、ご了承ください。

■ イベント概要

主催：	半導体産業新聞
コード：	J12
日時：	2011年5月17日（火） 13：00～17：30
会場：	東京・総評会館
参加費：	1万8,900円／1名（テキスト、飲物付、消費税込み）

■ お問い合わせ先

○ 産業タイムズ社　事業部
　　　FAX: 03-5835-5494　　TEL: 03-5835-5894
　　　E-mail: scnw@sangyo-times.co.jp

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