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LGシルトロン、200mm用のエピウエハーを量産
亀尾新工場に10万枚規模の専用ライン
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韓国のウエハー専門メーカーであるLGシルトロン（ソウル市永登浦区汝イ島洞34-7、Tel.02-768-6260、代表＝Lee
chang se）が、韓国メーカーとしては初めて200mm（8インチ）用のエピウエハーの本格的量産に踏み切った。
同社は、今後この製品の需要が急増すると判断し、同市場の早期先占のために亀尾（グミ）新工場に総額100億ウォンを投資、年間10万枚規模のエピウエハー専用生産ラインの構築を完了し、このほど本格稼働に入ったという。
エピウエハーは、既存のシリコンウエハー上に化学蒸着法を利用したもの。別途に単結晶膜を成長させることで、表面の欠陥が少なく電気的特性が優れている。したがって、今後高付加価値の非メモリー製品と64MDRAM以上の高集積メモリー製造に拡大採用できるものとして期待される次世代用のウエハー製品である。
また、同製品は既存のシリコンウエハー使用時、一番の難題として指摘されてきた各種の表面欠陥が克服できる現実的な対案として認識されている。同社では、既存製品より需給率面において約10％ほど優秀なものだと説明している。このことから世界大手の半導体メーカーらが、64MDRAMの主力ウエハーとしてこの製品を採択している。
さらに、LGセミコンなど韓国メーカーも、256MDRAM以上の製品に対するエピウエハーの本格的採用を積極に検討中だと知られており、同社は、現在10万枚規模のエピウエハー生産能力を、来年には21万枚へ、2002年までには60万枚規模へと大幅に拡大させ、韓国内市場だけではなく世界市場攻略にも積極的に踏み切る計画である。
同社側のある関係者は、「韓国半導体産業の競争力アップのためにもエピウエハーのような核心材料の国産化は必要」と強調。また、「去る95年、米国のエピテクシ社との共同研究を通じた、関連製造技術の早期確保と本格的な国内生産を推進し、輸入代替はもちろん、世界のエピウエハー市場の全体を主導していく方針だ」と強く語った。
ちなみに、昨年の世界の200mmエピウエハー市場は24億ドル規模で、シリコンウエハー市場全体の32.8％に達しており、半導体の高集積化の流れから見るとき、2001年頃は年間50億ドル規模に達すると見込まれている。
（ソウル支局・嚴 在漢 記者） |
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