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国内洗浄装置市場は横ばいの355億円
上位4社で全体売上高の約9割占める
大日本スクリーン製造がトップシェアをキープ
98年度は厳しい展開／トップをうかがうエス・イー・エス
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国内半導体洗浄装置メーカー各社の売上高合計は、780億円で構成比率は図のようになっている。大日本スクリーン製造が引き続き最大手の地位を確保、三協エンジニアリングとスガイの合併による新会社が追っている。カイジョーは売上高増を達成し3位に浮上、東京エレクトロンは4位となり、上位4社で全体売上高の約9割を占めている。
国内市場は前年度比横ばいの355億円で大日本スクリーン製造が31.0％を占めトップシェアをキープしたが、4割以上のシェアを誇っていた96年度に比べシェアは縮小、今後巻き返しを図る。また、エス・イー・エスが国内市場でも2位を確保、カイジョーは前年度と同じく3位を維持した。以下、東京エレクトロン、エム・エフエスアイ、島田理化工業と続いている。
98年度に関しては、世界的な半導体市場の低迷に伴い、国内での設備投資の抑制や韓国経済の回復の遅れに加え、これまで好調だった台湾市場でも陰りが見え始めたことなどから洗浄装置の受注環境は今年に入り悪化の度を増している。半導体洗浄装置メーカー各社の98年度売上高は大きく落ち込む見通しだ。
[ 各社の動向 ]
最大手の大日本スクリーン製造は、省スペース化を実現するワンバス式装置で先行、従来のバッチ式装置とワンバス式装置の売上高は同程度に達している。97年度のウエットステーションの売上高は、海外向けは伸長したものの国内での出荷減が響いて前年度を若干下回る230億円となった。今秋から本格出荷する新製品で受注拡大を目指す。
一方、同社はCMP後洗浄装置にも注力、97年度は約80億円を売り上げた。うち約6割が輸出向けだが国内外ともに好調。98年度も堅調に推移している。今後、CMP装置メーカーと共同で300mmウエハーおよびメタル研磨にも対応できる内蔵型装置の開発を進め、99年7月ごろには出荷する。
国内2番手には、10月1日付で合併する三協エンジニアリングとスガイによる新会社エス・イー・エスが浮上する。両社とも9月期決算であり年頭からの受注減や韓国市場の低迷などの影響から、98年9月期の半導体洗浄装置の売上高は200億円には達しないもようだが、トップをうかがう位置に付けている。
合併後初年度となる99年9月期は全社売上高170億円前後と予想しているが、2000年9月期には合併効果が現れ全社で250億円程度の売上高を見込んでいる。また、300mm対応で開発したツインバス式装置の200mmへの展開やCMP後洗浄装置の開発、洗浄周辺メーカーとの提携強化など積極策を講じていく方針。
カイジョーは、97年度に大手メーカーでは唯一の前年度比2桁増と大幅な成長を達成した。国内向け、海外向けともに前年度を上回ったもようで過去最高の売上高を実現した。ただ、98年度は市況悪化の影響は避けられず、各社同様に厳しい見通しを立てている。
97年度には、マランゴニー乾燥を採用した小型処理装置や300mm用に開発したマルチファンクションバス式洗浄装置の200mm対応装置が出荷拡大に寄与した。また、同社はCMP後洗浄装置の開発なども進めており、製品の幅を広げ拡販に努める方針だ。
東京エレクトロンの97年度半導体洗浄装置売上高は、前年度に比べ若干減少して約140億円となった。95年度以降、主力のバッチ式洗浄装置のほか、スクラブ洗浄装置が台湾向けに伸長するなど大きく売り上げを伸ばしてきたがやや足踏み状態といったところ。
バッチ式洗浄装置では、IPAをベースに独自開発したSDスクウェアという乾燥方式を採用している。また、露光前やコータ／デベロッパー後などに必要になるスクラブ洗浄装置では、単独装置として過去2年間で150台の出荷を果たすなどここ数年で急成長を達成した。
島田理化工業は、大幅な省スペース化を実現したコンパクトウエットステーションを中心に展開する一方1方で枚葉式装置、CMP後洗浄装置も手掛けている。97年度には台湾向けが好調だった。
同社は、ASETの分散研として「超微粒子制御クリーニング技術」の開発に従事しており、ブラシ洗浄やメガソニック洗浄に代替する二流体ジェットによる洗浄技術の開発を行っている。97年度までに0.03μmのパーティクルを除去する技術を確立、現在はその評価技術などを含めた開発を進めている。
エム・エフエスアイは、省薬液などを実現したワンバス式スプレー洗浄装置を中心に展開、98年6月期の売上高は前年比横ばいの30億円強となった。同装置は100枚を30分で処理できるなど高スループットが特徴でCMP後洗浄にも対応できる。
ワンバス式装置ではプロセスの安定性や信頼性を向上した次世代装置も開発、99年春には建設中の新技術センターも完成、稼働する予定になっている。また、枚葉式装置、ドライ洗浄装置も製品展開しており、新製品の開発など積極的に取り組んでいく。
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