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三菱マテリアルとサムスン電子、高性能ウェーハの量産技術確立
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三菱マテリアル(株)(千代田区大手町1-5-1、Tel.03-5252-5206)の100%子会社の三菱マテリアルシリコン(株)(永澤正幸社長)は、世界最大のDRAMメーカーである韓国の三星電子と共同で64MDRAM以降のデバイスに最適な高性能ポリッシュドウェーハ用200mmφシリコン単結晶(ピュアシリコン)の量産技術を確立し、来年1月から三菱マテリアルが販売を開始する。
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