99年半導体設備投資、ほぼ横這い
世界全体で270億ドル前後の予想(IDC Japan)
0.18μmプロセス立ち上げにボトルネック
半導体市況は底打ちの気配が漂い、回復基調に入ったと見る向きが多いが、99年の半導体設備投資は依然として低迷する見通しが強くなった。IDCJapanによれば、世界全体の半導体設備投資は、96年に過去最高の424億ドルを記録し、97年は372億ドルに減速、98年は一気に約30%減の271億ドル水準まで下降した。99年についても、各社の収益性が大幅に改善される見通しはなく、投資機運は低いため、前年比ほぼ横這いの270億ドル程度で推移していく見通しである。
東芝、0.18μmプロセスを導入、99年末から/200億円投入
(株)東芝(東京都港区芝浦1-1-1、Tel.03-3457-4511)は、新たに開発した微細化技術を使って新型DRAMの量産に乗り出す。
国内では四日市工場、海外では米国バージニア州にあるドミニオン工場(米国IBM社との合弁)で生産する。関連投資額は約200億円に上る。
東芝四日市工場の製造ライン
三菱電機、BSTキャパシタ形成技術を開発
溶液気化CVD法などでクリア/0.15μm以降をめど
三菱電機(株)(東京都千代田区丸の内2-2-3、Tel.03-3218-2111)は、「BST(チタン酸バリウムストロンチウム:BaxSr(1-x)TiO3)」キャパシタ膜形成技術の開発に成功した。これにより、0.15μmルール以降のDRAMや大容量メモリー・ロジック混載システムLSIの量産化技術の確立に前進した。
松下電器産業、魚津のTFT新工場フル稼働
99年度にTFT生産能力30%アップ/石川の新工場は事業計画で判断
松下電器産業(株)(大阪府門真市大字門真1006、Tel.06-908-1211)は、松下電子工業(株)魚津工場内に設けたTFT新ラインを昨年10月以降フル稼働させ、TFT生産能力も倍増した。99年度は既設工場への設備追加などにより生産能力の増強を図りながら、コストダウンも進める。

魚津製作所
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