革新が進む半導体テスト工程（東芝の総合カタログより）

沖電気、宮崎沖の隣接地9.4haの先行取得
宮崎県清武町と契約／システムLSIの量産強化

　沖電気工業（株）（東京都港区虎ノ門1-7-12、Tel.03-3501-3111）は、かねて宮崎県宮崎郡清武町の宮崎沖電気工場隣接地9.4haの先行取得を計画していたが、このほど地元町土地開発公社と売買契約を締結した。今後、利用策について検討を進める。

ウエハー欠陥検査装置市場、98年は前年比2割減
微細化対応で新製品の投入相次ぐ／SEMなどの搭載で光学系装置の限界突破

　半導体プロセスの微細化の進展に伴い、生産性や品質管理の重要性がますます高まっている。特に、0.18μmプロセスの本格量産を目前に控えた現在、早期の量産立ち上げなどで半導体検査装置、その中でもパターン欠陥検査装置と表面異物検査装置に代表されるウエハー欠陥検査装置の担う役割が大きくなっている。

テスターメーカー動向99／SOC需要でロジックテスターが活況
各社高中低レンジを製品化／メモリーはDRDRAMテスター

　システムLSI（SOC）の拡大に伴い、テスターメーカーはロジック、ミックステスターを強化中だ。情報家電用SOCに向けて、100〜200MHzの中速製品や、低速の30〜50MHzで低コスト品も活発。400MHz以上の高速品もMPUやDRDRAMチップセット、高速通信用LSI向けに拡大している。また、各社ロジックテスターにアナログ発生器を搭載。中、高速テスターはメモリーテストに対応するため、ALPG搭載の方向だが、半導体メーカーは既存のメモリーテスターで対応するケースも多く、BISTもあり、行方が注目される。

SII、インテリジェントLCDを開発
インターネット・チューナー技術導入／インターネット機能を機器に

　セイコーインスツルメンツ（株）（略称SII、千葉市美浜区中瀬1-8、Tel.043-211-1111）は、米国iREADY社のインターネット・チューナー技術を用いたインテリジェントLCDモジュールを開発している。LCDにCOF加工を行い、小型、薄型、軽量のLCDモジュールを追求、3月以降にサンプル開始する。

インテリジェントLCD

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