HDPCVD装置が大幅伸長
0.18μm対応の微細化投資で加速/アプライドとノベラスが先行
絶縁膜用CVD装置のうち、高密度プラズマCVD(HDPCVD)装置の出荷が大幅に伸びている。0.18μmプロセスにおける埋め込み性に優れることから、大手デバイスメーカーの微細化投資の進展に伴い好調に出荷を伸ばしている。98年の国内向け出荷は約40台であり前年に比べ倍増した。一方、HDPCVD装置とは対称的に、プラズマCVD装置と常圧CVD装置は、市況低迷による設備投資の圧縮の影響をもろに受けており、今年後半の受注回復に期待をかける。
中国最大の半導体工場完成・上海華虹NEC
0.35μm先端プロセス導入/8インチウエハー月2万枚/当面は64MDRAM量産
NEC(東京都港区芝5-7-1、Tel.03-3454-1111)は、中国・上海に建設していた半導体工場を完成、ウエハー投入を開始した。同工場には0.35μmプロセスの最先端量産技術を採用、当初8インチウエハー月産5000枚でスタート、順次生産能力を高め、最終的には月産2万枚まで引き上げる。生産品は当面需要の高い64MDRAMを生産、近い将来にはロジックICなども生産する。同工場稼働により、最先端の拡散技術をもつ中国最大の半導体工場が実現したことになる。

中国最大の半導体工場「上海華虹NEC電子有限公司」
PALTEK、99年12月期売り上げ21%増の144億円計画
ALTERA社のPLDは大台突破を/DBサービス提供など新ビジネスの展開も
(株)PALTEK(横浜市港北区新横浜2-3-12、Tel.045-477-2000、高橋忠仁社長)は、99年12月期の売り上げとして前期比約21%増の144億円を計画している。このうち主力のALTERA社のPLD部門の売り上げは、約16%増の109億円と初の大台突破を計画している。市場の伸びを大幅に上回る計画について高橋社長は「高集積、高速のNEWに分類される製品がユーザーに急速に受け入れられているのが大きな要因。」としており、この流れを加速するため、1月から「NEWソリューショングループ」も設置、言ってみればPLDでのシステムLSI化により、高付加価値化と新規ビジネスの拡大を狙っていく。

PALTEK・高橋忠仁社長
99年メタル配線動向
Cu配線を中心に展開/Cuはめっき、スパッタ、DRAMはCVDの傾向
メタル配線材料として有望視されてきたCuが、めっき技術や、ダマシン構造とCMP技術により、表舞台に登場、最近のメタル配線技術はこのCuを取り巻く形で展開を見せている。一方、従来の配線技術も、急速なシュリンクブームで新技術が台頭しつつある。概ね99年は、Cu関連がめっきとスパッタ、DRAMが微細化によるCVDの動きが顕著となりそうだ。
韓国TFT-LCD産業、絶好調!
主力13.3インチ適中、全シェア32%
旧正月連休も全ラインフル稼働/第2の半導体神話創出できるか?
韓国におけるTFT-LCD大手3社が、旧正月連休(2月15日〜17日)もフル稼働で絶好調だ。
第2の半導体神話ともいうべく、韓国のTFT LCD産業は、ビックディールで傷つけられた半導体産業とは裏腹に、今年は最大好況を謳歌する勢いだ。
ノートPCと一般PC用のモニターなどに幅広く搭載されているTFT-LCD分野で、韓国メーカーが先頭走者の日本を追い越し始めている。これは、後追い産業としてのメモリー半導体事業での日本追撃とかなり似たような状況が再現されているもの。
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