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| 2000年7月26日 水曜日 | |||
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 ニッポン半導体 最先端技術プロジェクトの全貌〜ASETの研究成果を追う！ 第1回 EUVリソグラフィー 70nm以下での量産実用化に向け要素技術を開発 90年代の半導体世界市場では、米国半導体メーカーの華々しいの復活の影でニッポン半導体は徐々にそのシェアを下げ、97年から昨年までは半導体不況に喘ぎ続けた。その一方で、90年代後半からニッポン半導体業界においても産官学を挙げた各種プロジェクトが誕生した。その一つがASET（技術研究組合超先端電子技術開発機構）であり、通産省／NEDOからの委託事業として96年度から本格的な開発に着手、21世紀のニッポン半導体の覇権復活に向け最先端プロセス技術の開発を担う。その全貌を追ってみた。 |
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