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2002年1月30日 水曜日
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ウエハー枚葉搬送が提案する日本復活への道

各社導入に前向きで新工場形態の主流へ

 低迷が続く日本の半導体産業。リストラや生産の海外シフトなどで現状を乗り切る一方、復活に向けての将来ビジョンは、“デジタル家電を戦略商品とし、そのキーデバイスとなる付加価値の高いシステムLSIの開発・製造に賭ける”というところが業界のほぼ共通した声であろう。
 システムLSI生産を核とする戦略が定められる以上、それに伴い生産形態も戦略に適合した方式が求められてくるのは当然だ。これに対し、クリーン搬送の観点から解として提案されているのが、ウエハー枚葉搬送とフローショップ方式を採用した新たな工場レイアウトだ。





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