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| 2008年1月30日 水曜日 | |||
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 200mm中古製造装置・リファブ市場が活性化 中国の設備投資は中古市場が主流に TSMC上海、プロモス重慶など合計20万枚 中国の半導体工場（前工程）の設備投資は2008年以降、200mmウエハー対応の中古製造装置の導入案件が急増する。案件ベースでは中古装置による生産ラインの立ち上げが大半を占め、金額ベースでも全体の30％まで拡大する。台湾資本のTSMCとプロモス、中国資本のセンションとCSMCは中古装置により合計で月産約20万枚の200mmファブを立ち上げようとしている。中国の半導体工場の設備投資は当面、中古装置の導入が主流になりそうだ。 中国の半導体（前工程）製造装置の市場規模は、00年の段階で約2億ドルだったが、その後、SMICを筆頭に中国半導体ブームに火がつき、04年は10倍増の20億ドルに拡大した。しかし、04年の五輪開催後に世界的に半導体市況が冷え込み、05年に中国ファンドリーは一転して設備過剰に陥った。この年の装置の投資額は10億ドル弱に激減している。その後は06年に20億ドル、07年は22億ドルと、04年の投資水準になんとか回復した。 SEMIチャイナなどのデータによると、08年の中国の前工程装置市場は約24億ドル（前年比約10％増）と04年よりやや大きくなるとみられる。しかし、設備投資の中身は04年と比べて大きく異なる。04年の設備投資では新規装置が90％を占めたが、08年はこれが65％に縮小してしまう。08年の装置投資額は04年の水準を超えるものの、新規装置に限定すれば、残念ながら04年と07年の水準（19億ドル前後）には届かない。 08年の新規装置の投資額（16億ドル弱）に対して、中古装置は8億ドル程度と、全体の1/3を占める。この流れは10年まで続くことが予想される。 08年以降に中古装置を導入する200mm工場は次のとおり。 台湾資本のTSMCは、米アトメルの英ノース・タインサイド工場から200mm対応の中古装置一式を8200万ドルで購入。TSMCの上海工場に月産能力約3万枚弱（0.13〜0.18μm対応）の製造装置を移設する。これによりTSMC上海の生産能力は月産6万枚に引き上げられる。移設後の生産開始は08年6月を予定している。 プロモスは08年1〜3月期、重慶市に建設中の200mm工場に月産能力2万枚の中古装置を立ち上げる。さらに月産能力4万枚の中古装置の導入も予定し、合計6万枚の製造装置を09年までに立ち上げる計画だ。中古装置はUMCジャパン、テック（シンガポール）、AMD（独ドレスデン）、プロモス（台湾）から移設する。 成都政府などが設立してSMICがファブ運営を受託するセンション（成都成芯半導体製造、四川省成都市）は、広島エルピーダメモリから200mm対応の中古装置を移設する。この装置の生産能力は月産5万枚、売却額は3億950万ドル。2段階に分けて約半分ずつ移設する。08年内に第2段階の装置搬入を予定している。 中国の150mmファンドリー大手のCSMC（江蘇省無錫市）は、中古装置を購入して200mm製造への参入を計画している。無錫市のハイニックスSTから月産能力5万枚の200mm中古装置を購入するもよう。 |
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